许多数字应用依靠冷却系统将工作温度保持在设计限值内，工业应用的典型工作温度为-40℃至+85℃。但是，冷却系统可能会出现故障，例如风扇出现故障，这可能会导致环境温度超过系统设计限值，在某些情况下会达到或超过+125℃的极端值。理想情况下，系统在这些故障条件下应保持正常运行。维持连续运行对于许多系统来说是至关重要的，例如对于蜂窝基站来说，它们应该维持基本服务以支持紧急呼叫。因此，系统设计人员应该选择能够实现最大可靠性的元件。

任何数字系统中最重要的组件之一就是振荡器。它为整个系统提供同步信号，因此有时被称为“系统的心跳”就像人体的心脏一样，振荡器发生故障会导致整个系统失灵。

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本文提出了一种基于双微机电系统(MEMS)谐振器的温度传感器.在该传感器中,读出电路通过测量由具有不同温度系数的单独石英晶体谐振器产生的两个时钟的频率比来估计温度,该电路采用0.18μmCMOS工艺实现,在100 Hz带宽下实现20μK的分辨率,同时功耗为19 mW,分辨率FOM为0.04pJK2.